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MTCS2601 MTCS2601 热导式压力传感器
MTCS2601
热导式压力传感器
一、热导式压力传感器
MTCS2601
描述:
MTCS2601
传感器由基于
MEMS
技术的
4
个
Ni-Pt
电阻组成的微机械的热电导率传感器。此
传感器安装在小型的
SMD
封装内。同时结合了低功耗
CMOS
标准集成电路,非常适合
OEC
厂商的泄漏检测,或者基于帕拉尼原理的真空度检测,需要超低功耗,长寿命和免维护的产品。适用于恶劣环境下初级压力控制,需要功耗和尺寸的限制,或者密闭空间中气体泄漏或者水分,
或者侵入的监测。
二、
热导式压力传感器
MTCS2601
特点:
MEMS
传感器遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理,基于气体热导率变化
Vs
压力变化趋势
测量范围:
0.0001~1000mbar
,的可重复性
硅晶片上有加热电阻,并且有优异的温度补偿
超小的传感器气体体积例如
< 0.1cm3
稳定和长的
MTBF
(
>30000
小时) ,基于物理阻抗感应原理
超低功耗消耗(
<6mw
)
,
由于使用了带小加热元件的
MEMS
传感器
超快响应时间
<50ms< span="">
对安装位置不敏感
可以使用在串扰气体环境中
与一个简单恒定的温度电路兼容
三、
热导式压力传感器
MTCS2601
应用:
将该传感器安装在压力阀或直接装在真空溜管或系统中,例如小的机械抽真空系统、
真空泵和分析仪器。
泄露微型
SMD
传感器可做*压力下的密闭系统或仪器控制的完整性检测,它能做类似腐蚀或简单地盒子打开后的检测
(
荷重元;飞轮系统;
Dewar
保温真空瓶
...)